工业制粗硅的设备

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    2018年4月28日 而芯片则是指内含集成电路的硅片,它有几十种大类,上千种小类。 把粗硅粉和干燥的氯化氢气体放在合成炉中反应得到三氯氢硅,再经过精馏、熔炼、提纯等步骤, 这其中许多工艺都在独立的工厂进行,而使用的设备也需要专门的设备厂制造使用的材料包括几百种特种气体、液体、靶材,都需要专门的化工工业。

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