多晶硅粉末提纯技术

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    当前主流的电子级多晶硅生产技术主要有三氯 氢硅(SiHCl3)法、硅烷(SiH4)法等[23].流化床反应器法所生产的多晶硅为颗粒状,纯度也不及三氯氢硅法和硅烷法生产的

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    工程实验室设立有氯硅烷分离提纯技术、多晶硅高效还原技术、四氯化硅氢化技术、多晶硅还原技术、多晶硅高纯后处理技术、还原尾气干法回收技术6

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    多晶硅提纯技术 目 录 摘 要 1 1 引言 1 2 多晶硅的提纯技术

  • 单晶硅与多晶硅不同功能及优缺点是什

    且随温度升高而增加,具有半导体性质。晶态硅的熔点1410℃,沸点2355℃,密无定形硅是一种黑灰色的粉末。 多晶硅 很多人都说,谁掌握了多晶硅及微电子技术

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    多晶硅提纯技术和工艺类型一、多晶硅生产工艺综述 从大的类别来讲,硅提纯技术可以简单的划分为化学法和物理法,分别以改良西门子法 和物理法为代表,还有

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