碳化硅工艺设备

  • 我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破新华网 新华社

    2018年6月6日 我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破6月5日,在中国电子 台碳化硅(SiC)单晶生长设备正在高速运行,SiC单晶在这100台设备里"奋力"生长。 粉料和单晶生长炉条件下,还需要对生产工艺进行设计、调试和优化。".

  • 碳化硅(SiC):历史与应用 微波基础知识 微波射频网

    2017年8月10日 硅与碳的合成物是碳化硅(SiC),俗称金刚砂。 碳化硅也用于在高温和/或高压环境中工作的半导体电子设备,如火焰点火器、电阻加热元件以及恶劣 幸运的是,生产中使用渗氮工艺可使造成这些接口问题的缺陷大大降低。

  • 中国首条6英寸SiC芯片生产线完成技术调试_中国半导体照明网

    2017年12月22日 时代电气半导体事业部SiC芯片线已于12月份完成全部工艺能力调试。 一系列高难度、高危险的任务,为SiC工艺设备提供源源不断、稳定可靠的" 

  • 我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破地方要闻区域创新

    2018年6月5日 我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破. 硅(SiC)单晶生长设备正在高速运行,碳化硅(SiC)单晶在这100台设备里"奋力"生长。 单晶,在具备高纯SiC粉料和单晶生长炉条件下,还需要对生产工艺进行设计、调试和优化。

  • 我国碳化硅器件制造关键装备研发取得重大进展 国家科技部

    2018年5月6日 以碳化硅(SiC)为代表的第三代半导体产业是全球战略竞争新的制高点。 同时,设备的销售价格可控制在同类进口设备的2/3以下,有力支撑了国内SiC 减薄、切割、磨抛等关键工艺装备与工艺整合研究,为SiC器件制造整线装备的 

  • 时代电气6英寸碳化硅(SiC)产业化基地技术调试圆满完成_首页_手机端

    2017年12月22日 12月10日,时代电气SiC产业化基地离子注入工艺设备技术调试完成,标志着SiC芯片生产线全线设备、工艺调试圆满完成,具备SiC产品的生产条件 

  • 天科合达牵头的"大尺寸SiC材料与器件的制造设备与工艺技术研究"课题

    2017年10月26日 近日,863计划先进制造技术领域"大尺寸SiC材料与器件的制造设备与工艺技术研究"课题通过了技术验收。,中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟.

  • 碳化硅 北京世纪金光半导体有限公司

    【金光炫技】 "世纪金光"碳化硅晶片划片裂片工艺再添新高! 材料划裂片方案,引进国际上先进的SiC划片裂片设备,建立了国内条SiC晶圆划裂片量产生产线。

  • 我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破地方要闻区域创新

    2018年6月5日 我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破. 硅(SiC)单晶生长设备正在高速运行,碳化硅(SiC)单晶在这100台设备里"奋力"生长。 单晶,在具备高纯SiC粉料和单晶生长炉条件下,还需要对生产工艺进行设计、调试和优化。

  • 英飞凌开始批量生产全碳化硅模块 工艺设备 电子工程世界网

    2017年6月28日 效率更高、功率密度更大、尺寸更小且系统成本更低:这是基于碳化硅(SiC)的晶体管的主要优势。英飞凌科技股份公司(FSE: IFX OTCQX:

  • 我国第三代半导体材料制造设备取得新突破

    近日,863 计划先进制造技术领域"大尺寸SiC 材料与器件的制造设备与工艺技术 通常,国际上把碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等宽禁带半导体材料称之为第三代半导.

  • 我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破半导体碳化硅材料_

    2018年6月6日 台碳化硅(SiC)单晶生长设备正在高速运行,SiC单晶在这100台设备里" 粉料和单晶生长炉条件下,还需要对生产工艺进行设计、调试和优化。

  • 工艺设备宁夏机械研究院(有限责任公司)

    工艺说明. 宁夏是亚洲的碳化硅优质原材料的主要产区之一,凭借这一得天独厚的优势,结合先进的配方与生产技术,我们掌控了原材料采购、粉体制造、压制成型及 

  • 我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破新华网

    2018年6月6日 我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破6月5日,在中国电子 台碳化硅(SiC)单晶生长设备正在高速运行,SiC单晶在这100台设备里"奋力"生长。 光刻胶是整个光刻工艺的重要部分,也是国际上技术门槛的微电子 

  • 公司简介 Microcera specializes

    宁波密克斯新材料科技有限公司专业生产无压烧结碳化硅陶瓷材料。 公司创办人陈 我们的生产工艺全球。两种材料都 生产所需的关键设备全部从欧美进口,包括大型高温真空烧结炉,全自动机械压机,等静压机,数控磨床等。 我们竭诚为您 

  • SiC器件定制 BASiC l 基本半导体碳化硅功率器件领军品牌

    完整的4/6寸生产流程线,拥有碳化硅外延、高温离子注入、高温退火、高温氧化等全套工艺设备,提供完整的器件生产或部分工艺步骤定制;. ▷ 全生产流程可控, 

  • 我国碳化硅器件制造关键装备研发取得重大进展 国家科技部

    2018年5月6日 以碳化硅(SiC)为代表的第三代半导体产业是全球战略竞争新的制高点。 同时,设备的销售价格可控制在同类进口设备的2/3以下,有力支撑了国内SiC 减薄、切割、磨抛等关键工艺装备与工艺整合研究,为SiC器件制造整线装备的 

  • 碳化硅_百度百科

    碳化硅(SiC)因其很大的硬度而成为一种重要的磨料,但其应用范围 高温制备SiC冶炼块的热工设备是专用的碳化硅电炉,其结构由炉底、 

  • 半导体科普五半导体材料、工艺和设备 知乎

    2018年7月2日 第三代半导体材料有氮化镓(GaN),金刚石(也叫钻石),碳化硅(SiC,也叫 实现以上工艺的设备有,氧化炉、光刻机、显影机、刻蚀机、镀膜机、注入 

  • 半导体科普五半导体材料、工艺和设备 知乎

    2018年7月2日 第三代半导体材料有氮化镓(GaN),金刚石(也叫钻石),碳化硅(SiC,也叫 实现以上工艺的设备有,氧化炉、光刻机、显影机、刻蚀机、镀膜机、注入 

  • 全球碳化硅晶片的主要生产商之一 北京天科合达半导体股份有限公司

    公司依托于中国科学院物理所十余年在碳化硅领域的研究成果,集技术、管理、市场和 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会会员单位 中关村国家自主创新 自行研发了碳化硅晶片加工的关键工艺技术:针对超硬的碳化硅,选取适当 

  • 我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破新华网

    2018年6月6日 我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破6月5日,在中国电子 台碳化硅(SiC)单晶生长设备正在高速运行,SiC单晶在这100台设备里"奋力"生长。 光刻胶是整个光刻工艺的重要部分,也是国际上技术门槛的微电子 

  • 半导体制造设备|产品信息|ACCRETECH 東京精密

    高刚性研磨盘是对蓝宝石、碳化硅等难磨材料进行研磨的设备。 CMP装置. CMP设备. CMP是在IC 制造工程中晶圆表面平坦化工艺之一环,使用化学研磨剂、研磨垫 

  • 我国第三代半导体材料制造设备取得新突破

    近日,863 计划先进制造技术领域"大尺寸SiC 材料与器件的制造设备与工艺技术 通常,国际上把碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等宽禁带半导体材料称之为第三代半导.

  • 西格里集团SGL CARBON SGL Group

    碳/碳化硅是一种复合材料,其将碳纤维结合在陶瓷基料中,并将材料的物理特性发挥 形状接近几何公差的结构部件 高温应用部件 化学工艺设备用部件 航空航天 

  • SiC外延炉加热系统的设计【维普网】仓储式在线作品出版平台www

    碳化硅材料是一种宽禁带半导体材料,其耐高温、耐高压的特性特别适合制作大功率 随着SiC器件生产工艺技术的突破,碳化硅器件得到了快速的发展,其相关设备也在 

  • 中车时代电气SiC产业化基地离子注入工艺设备技术调试完成 电子发烧友

    2018年1月15日 近日,中车时代电气SiC产业化基地离子注入工艺设备技术调试完成,标志着SiC芯片生产线全线设备、工艺调试圆满完成,具备SiC产品的生产条件, 

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      由于当地天然砂石供应不足,该杭州客户针对市场上对高品质机制砂的需求,看准当地河卵石储量丰富在的巨大商机