碳化硅成套设备工艺流程

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    近日,863 计划先进制造技术领域"大尺寸SiC 材料与器件的制造设备与工艺技术 通常,国际上把碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等宽禁带半导体材料称之为第三代半导.

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    2017年12月26日 通过实施本方案,重大技术装备整机和成套设备取得重大突. 破,关键零部件及制造工艺设备水平明显提升,研发检验检测等公. 共服务能力显著增强, 流程质量稳定控制技术、绿色可循环钢铁制造流程技术等技术、全. 流程设备状态 消融设备、新一. 代电力电子器件制造用碳化硅高温离子注入机、高温金属有机化合.

  • 第三代半导体国产化装备技术应用现状_第三代半导体产业技术创新战略

    2017年5月27日 以碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)为代表的宽禁带半导体材料,又被成为第三代 宽禁带半导体晶片和器件的制备基本工艺流程同硅基半导体基本一致,大致可 关键设备牵引,实现分段工艺局部成套,拓展解决整线成套设备国产化,并 

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    2018年1月30日 时代电气半导体事业部6英寸碳化硅(SiC)生产线是国内首条6英寸SiC 余台工艺设备和90余项工艺调试,实现SiC 二极管和MOSFET芯片工艺流程 

  • 中科院完成目前世界上口径碳化硅单体反射镜研制,这一成果有哪些意

    2018年8月21日,中科院长春光机所研制的4.03米大口径碳化硅反射镜成功 长春光机所不只是把4米镜头造了出来,还把成套的加工设备都研发了 

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    2018 年8 月21 日,中科院长春光机所研制的4.03 米大口径碳化硅反射镜成功通过验收。 . 有细微缺陷、影响反射率等光学性能,需要通过后续工艺改进表面特性。 围绕反射镜研制流程,项目完成了三个子系统、十余套加工检测设备 .. 长春光机所不只是把4米镜头造了出来,还把成套的加工设备都研发了出来。

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    可以为用户提供成套磁选、浮选、重选、炭浆、碎石设备、水泥设备的设计、制作、安装等全套服务。 碳化硅加工工艺流程的碳化硅破碎机碳化硅BSK型浮选机.

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