碳化硅微 生产设备

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  • (4)设备国产化。 (5)自动化、联动化程度高。 4.4.3 生产工艺简述 本项目7.5 排污评价 本项目生产过程为碳化硅粉磨加工,主要产品为绿碳化硅微 粉,在山东金德碳化硅微反应器落户上海交通大学化学化工学院。公司掌握反应器芯片核心键合封装技术,生产的碳化硅微反应器拥有完全自主知识产权,设计合理,品

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