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烧结大尺寸ITO靶材,需要有大型的烧结炉。国外可以做宽1200毫米、长近3000毫米的单块靶材,国内只能制造不超过800毫米宽的。产出效率方面,日式装备月产量可达30吨50吨,我们年产量只1. ITO基板预处理工艺 首先需要准备导电性能好和透射率高的导电玻璃,通常使用ITO玻璃。高性能的ITO玻璃加工工艺比较复杂,市面上可以直接买到。ITO作为电极,需要在产出效率方面,日本设备的月产量可以达到3050吨,我们的年产量只有30吨——进口设备的价格要1000万元人民币,这和国内小企业的天价没什么区别。 我国ITO靶材。